| 項目 | SiO₂-SiC | SiSiC/RBSiC | R-SiC | Si3N4-SiC |
|---|---|---|---|---|
| SiC % | ＞85 | 90~92 | ＞99 | ≥75 |
| 密度 g/cm3 | 2.65~2.75 | >3.02 | 2.65～2.75 | 2.65～2.85 |
| 気孔率 % | 15~16 | <0.1 | 15-18 | 13-15 |
| 曲げ強さ (20℃)Mpa | 90~100 | 260 | 80～100 | 160-180 |
| 曲げ強さ（1200℃）Mpa | 100~110 | 280 | 90～110 | 170-180 |
| 圧縮強さ (20℃)Mpa | ≥300 | 900 | ≥300 | 580 |
| 硬度 Kg/mm2 | 1800~2000 | 2400 | 1800～2000 | 2000-3000 |
| 熱伝導率 (1200℃)w.m-1.k-1 | 35~36 | 45 | 36 | 19.6 |
| 熱膨張係数(1200℃) | 4.6 | 4.5 | 4.6 | 4.7 |
| 最高使用温度 | 1500 | 1380 | 1650 | 1550 |
炭化ケイ素板は高温耐性（1400℃以上）、高硬度と耐摩耗性、低熱伝導率と軽量、強い化学安定性と優れた熱衝撃安定性を持っています。高温、耐食、耐摩耗シーンに適しており、その性能は従来の材料よりも優れています。
炭化ケイ素プレートは、主に工業用キルン（炉内張り、焼鈍炉など）、半導体（CVD装置キャリアプレート）、太陽光発電（高温拡散炉部品）、鉱業・化学工業（耐摩耗性・耐腐食性ライニング/ポンプボディ）、新エネルギー（リチウム電池焼結、水素エネルギー装置用耐高温部品）、極限精密製造シーンで使用されています。