| Артикул | SiO₂-SiC | SiSiC/RBSiC | R-SiC | Si3N4-SiC |
|---|---|---|---|---|
| SiC % | ＞85 | 90~92 | ＞99 | ≥75 |
| Плотность г/см3 | 2.65~2.75 | >3.02 | 2.65～2.75 | 2.65～2.85 |
| Пористость % | 15~16 | <0.1 | 15-18 | 13-15 |
| Прочность на изгиб (20℃) МПа | 90~100 | 260 | 80～100 | 160-180 |
| Прочность на изгиб (1200℃) МПа | 100~110 | 280 | 90～110 | 170-180 |
| Прочность на сжатие (20℃) МПа | ≥300 | 900 | ≥300 | 580 |
| Твердость кг/мм2 | 1800~2000 | 2400 | 1800～2000 | 2000-3000 |
| Теплопроводность (1200℃)вт.м-1.к-1 | 35~36 | 45 | 36 | 19.6 |
| Коэффициент теплового расширения (1200℃) | 4.6 | 4.5 | 4.6 | 4.7 |
| Максимальная рабочая температура ℃ | 1500 | 1380 | 1650 | 1550 |
Пластина из карбида кремния обладает высокой термостойкостью (более 1400°C), высокой твердостью и износостойкостью, низкой теплопроводностью и малым весом, сильной химической стабильностью и отличной устойчивостью к тепловому удару. Она подходит для сцен с высокой температурой, коррозией и износостойкостью, а ее характеристики лучше, чем у традиционных материалов.
Пластины из карбида кремния в основном используются в промышленных печах (футеровка печей, печи отжига и т.д.), полупроводниках (несущие плиты CVD оборудования), фотовольтаике (компоненты высокотемпературных диффузионных печей), горнодобывающей и химической промышленности (износостойкие и коррозионностойкие футеровки/корпуса насосов), новой энергетике (спекание литиевых батарей, высокотемпературные стойкие детали для водородного энергетического оборудования) и экстремально точных сценариях производства.